AX-2500HP - 8インチパワーデバイス測定用セミオートプローバー
|
パワーデバイス評価測定に特化した高電圧・大電流対応システムです。温調システムを搭載することで様々な温度評価を可能とします。
|
Features & Benefits
|
ローノイズチャンバー構造
特殊シールドチャンバーとインターロック機能で安全且つ高精度な測定が可能です。 |
|
プロービングソリューション
高耐圧対応アーム・プローブなど多彩なアクセサリーで、最適な測定ソリューションをご提案いたします。 |
|
アクセサリー
特別設計されたウェハ液浸トレイにより、パワーデバイスのパッド間の放電を抑え、安全で高精度なハイパワー測定が行えます。 |
|
高低温温調システム
実績の高い冷却液循環チラーを用いた高低温温調システムで、-40℃から200℃の温調が可能です。 室温付近から300℃の高温温調システムなど用途に応じた温調システムをご提案いたします。 |
|
防振機構内蔵
本体下部搭載台内部に防振機構が内蔵されております。 外部からの振動を吸収し、安定した測定が可能です。 |
|
シンプルオペレーション
実装されているプローバーオペレーションソフトウェアとジョイスティックにより、シンプルな操作でプローバー操作が可能です。 アライメント、ウェハマップ、温度可変による位置補正など様々な機能を備えております。 |
|
|