半導体評価・解析装置(プローバー)の専業メーカー

VX-3000SV

国内メーカーで初めて製品化した12インチウェハ対応セミオートプローバーです。微少電流測定・容量測定で実績のあるVector chuckを搭載し、高低温Chuck、プローブカード、金属顕微鏡、レーザーカッター、高周波プローブ等、多彩なアクセサリーを揃えており、ユーザーのあらゆる要望にも対応が可能です。
高低温用chuck搭載することで、常温から300℃・-40℃から200℃までの範囲のコントロールを可能とします。ジョイスティック・タッチパネルによる優れた操作系を持つことで、容易で正確な操作が可能です。

微少電流測定・容量測定、高速IV測定、高周波測定など、ユーザーニーズに合わせた様々なプロービングソリューションを提供いたします。解析用ソフトウェアによる自動測定環境を容易に構築が可能です。

プローブカードホルダーや金属顕微鏡など、豊富なアクセサリーを揃え、様々なニーズにお応えします。

簡易ローダー搭載により、安全で快適な操作を行えます。

製品一覧

  • TS50
  • TS150 TS200
  • TS150-THZ
  • TS200-SE
  • IMPACT TestSolutions
  • RF Probers&Accessories

CONTENTS

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