半導体評価・解析装置(プローバー)の専業メーカー

MX-3000

小口径ウェハから最大12インチサイズウェハまで対応可能なプローバーです。広い開口部を持ったポジショナーベースにより、ウェハ全体を容易に視認でき、測定チップへの素早い位置決めが可能です。完全遮光のシールドボックスや防振台、高剛性ボディとVector Chuck により、低ノイズ・低リークで電気特性評価に最適な測定環境を提供いたします。

開口部が広く、ウェハの出し入れが容易など、ユーザーの使い勝手を考えた設計。

拡張性にすぐれたVectorProberは様々な測定やご要望に合わせた測定環境の構築をすることが可能です。

チラーユニットや温度コントローラーを用いて、高低温試験を行うことが可能です。VectorChuckは全温度範囲で低ノイズ・低リークを保っており、より正確で最適な測定環境を提供いたします。

製品一覧

  • TS50
  • TS150 TS200
  • TS150-THZ
  • TS200-SE
  • IMPACT TestSolutions
  • RF Probers&Accessories

CONTENTS

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