半導体評価・解析装置(プローバー)の専業メーカー

MX-1100 series

小口径ウェハから最大12インチサイズウェハまで対応可能なプローバーです。広い開口部を持ったポジショナーベースにより、ウェハ全体を容易に視認でき、測定チップへの素早い位置決めが可能です。完全遮光のシールドボックスや防振台、高剛性ボディとVector Chuck により、低ノイズ・低リークで電気特性評価に最適な測定環境を提供いたします。

高倍率金属顕微鏡搭載で容易なサブミクロンレベルのプロービングを可能とする。レーザーシステムを搭載することも可能で、不良解析など様々なアプリケーションに対応可能。

GGB社製高周波用プローブを使用し、パラメーター抽出やデバイス特性評価など様々な測定に対応可能。

高速IV/パルスIV測定など様々な測定に対応可能で、常に進化し続けるシステムです。

プローブカードホルダーやポジショナー、温度コントローラーなど様々なアクセサリーを取り揃えております。

製品一覧

  • TS50
  • TS150 TS200
  • TS150-THZ
  • TS200-SE
  • IMPACT TestSolutions
  • RF Probers&Accessories

CONTENTS

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