半導体評価・解析装置(プローバー)の専業メーカー

MX-5300

最大10インチサイズのガラス基板に対応したマニュアルプローバーです。レーザーシステム搭載により、リペア・保護膜剥離・不良解析等、多彩な仕様が可能です。

■ステージサイズ 210×160mm
■室温から200℃までの温度コントロールが可能。

オプションで上面・裏面照射ユニットも取り揃えております。

MX-7000

MX-7200

MX-7200

■最大15インチサイズのガラス基板の高低温評価が可能。
■ステージサイズ 320×230mm
■-40℃から150℃まで温度コントロールが可能です。
■広範囲な顕微鏡可動域とポジショナー設置領域を持っております。

MX-7500

MX-7500

■最大37インチサイズのガラス基板の電気特性測定が可能。
■ステージサイズ 400×300mm
室温から150℃までの温度コントロールが可能です。
■広範囲な顕微鏡可動域とポジショナー設置領域を持っております。

MX-7700

MX-7700

■最大470×370mmサイズのガラス基板の電気特性測定が可能。
■ステージサイズ 470×370mm
■室温から150℃までの温度コントロールが可能です。
■広範囲な顕微鏡可動域とポジショナー設置領域を持っております。

各種、豊富なアクセサリーを取り揃えております。

製品一覧

  • TS50
  • TS150 TS200
  • TS150-THZ
  • TS200-SE
  • IMPACT TestSolutions
  • RF Probers&Accessories

CONTENTS

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