半導体評価・解析装置(プローバー)の専業メーカー

▼Semi-Auto Prober

I-V、C-V、高周波特性、高電圧・大電流など様々なアプリケーションに対応します。簡単操作で快適な測定が可能です。
温度コントローラーやレーザーシステムの搭載が可能です。自動測定に対応しております。

VX-3000SV
VX-3000SV

12インチサイズウェハまで対応可能なローダー装備高精度セミオートプローバーです。操作性に優れ、高効率な測定が可能な最上位機です。拡張性に優れており様々なアプリケーションに対応可能です。

[動作温度範囲]
常温~300℃
-40℃~200℃

AX-2500
AX-2500

8インチサイズウェハまで対応可能な高精度セミオートプローバーです。ローノイズ仕様により様々なアプリケーションに対応可能です。
自動測定に対応しております。

[動作温度範囲]
常温~300℃
-40℃~200℃

POWER DEVICE用 AX
POWER DEVICE用 AX

高耐圧用チャック、ケーブル、アームを搭載したパワーデバイス評価用プローバーです。安全機能も充実しております。

[動作温度範囲]
常温~300℃
-40℃~200℃

▼Manual Prober

国内最多の出荷実績を誇る、オールラウンド型マニュアルプローバーです。フェムトオーダーの高低温DC測定から、マイクロウェーブ、不良解析、レーザーカッター等あらゆる半導体評価、解析に対応できます。

MX-3000 series
MX-3000 series

MX-1100Bの使いやすさや性能を継承した12インチ対応プローバーです。微少電流・容量測定から高精度測定など豊富なアクセサリーでさまざまな用途に対応します。

MX-1100 series
MX-1100 series

チップサイズから8インチウェハまで対応したVectorスタンダードモデルです。高低温DC測定・高周波測定・高速IV/パルスIV測定などさまざまな測定ソリューションの構築が可能です。

MX-400
MX-400

最大4インチまでのウェハに対応
高温チャック搭載
パワーデバイス評価にも対応可能

MX-200
MX-200

卓上型マニュアルプローバー。最大2インチまでのウェハに対応。高温チャック搭載可能

FPD
FPD

大型ガラス基板の電気特性測定が可能です。最大470×370mmまで対応したモデルも取り揃えております。

PowerDevice
PowerDevice

高耐圧用チャック、ケーブル、アームを搭載したパワーデバイス評価用プローバーです。

▼Engineering Probe System TS series

ベクターセミコンのプロバーシステムがさらなる進化を遂げました。
I-V、C-V、ハイパワーはもちろんのことRFやmmW測定に特化したTSシリーズが製品ラインナップに加わり、
様々な条件に対応したエンジニアリングプローバーシステムのご提案が可能となりました。

▼Accessory

様々な測定に合わせて多くの測定アクセサリーを開発・製作しております。低ノイズ・低リークと測定に優れた製品を各種取り揃えております。

Allstron RF Products
Allstron RF Products

26GHz~110GHzまでのRFプロープと校正基板、キャリブレーションソフトウェアをご提案します。

RF probe 26GHz~110GHz/GSG,GS,SG
RF probe 26GHz~67GHz/GSSG,GSGSG

Laser system
Laser system

■HOYA CANDEO OPTRONICS(株)製
■レーザーマイクロカッターシステム
■LR-2100/3100シリーズ
■レーザー波長
1064nm,532nm,355nm,266nm
■弊社プローバーに多くの搭載実績があるレーザーシステムです。不良解析として、デバイスの保護膜剥離や配線カット等の用途に用います。

Accessory for Prober
Accessory for Prober

お客様のニーズに合わせたアクセサリーを豊富に取り揃えております。ご要望に合わせた開発・製作も行います。お問い合わせください。

▼TS50

prod-img-img04

TS50マニュアルプロービングシステムはチップサイズから2インチウェハまでのDC/CVやRF測定アプリケーションを安価で構築可能とします。
場所をとらない省フットプリント設計(300×300mm)、無駄のない構成・設計により性能は損なわず、迅速なセットアップが可能でありすぐに測定環境を構築できる非常に優れた小型マニュアルプロービングシステムです。

特徴

prod-img-img04

Easy stage

TS50は2種類のチャックステージから選択が可能です。Easy stageは真空吸着を利用した、非常に単純な制御を行うステージです。単純なDC/CVアプリケーションなどにおすすめです。

prod-img-img05

Linear 50x50mm XY stage

XY軸はリニアガイドにより50×50mmの範囲を素早く正確に移動します。さらに25×25mm X-Y-θ軸はマイクロメーターを用いて早くて正確な独立した軸移動が可能です。RF測定や高温チャック搭載に必要な構成です。

prod-img-img06

20mm height adjustment

20mm可動ポジショナーベース(プラテン)により、すべてのポジショナーのコンタクト/セパレートを同時に行うことができます。

prod-img-img07

Triaxial chuck

RFアプリケーションのために、50mm triaxial chuckと正確な校正を行うためのセラミック製校正基板用チャックの搭載が可能です。

prod-img-img08

Rectangular adjustment of MicroPositioners

RF Probe 用のポジショナーにはRF Probeの傾きを調整する機構も標準搭載されております。

prod-img-img09

Multiple configurations of MicroPositioners

様々なパッドレイアウトに対応するために小型ポジショナーMP25なら8台、MP40なら6台まで搭載可能です。

prod-img-img10

Various optic options

充実した顕微鏡ラインナップから、一般的なDC/CVアプリケーションには実態顕微鏡、RFアプリケーションにはズーム鏡筒タイプなど、ご提案が可能です。

▼TS150,TS200

prod-img-img11

TS150,TS200はベクターセミコンのMXシリーズがさらなる進化を遂げ、様々な用途でお使いいただけるようになりました。直感的な操作、簡単で便利、高精度な測定を特徴としたマニュアルプロービングシステムです。
TS150はチップサイズから6インチウェハまで対応。
TS200はチップサイズから8インチウェハまで対応。
室温から300℃までの温調システムを搭載可能です。

特徴

prod-img-img12

Air-bearing stage

エアベアリング方式でステージを軽く、素早く、簡単に移動することができます。25×25mmXYとθ移動にマイクロメーターを使用しさらに細かく正確に動作可能です。

prod-img-img13

Unique platen lift

測定精度はプローブコンタクト精度に依存します。ポジショナーベース(プラテン)位置をサイドレバーで、プローブコンタクトポジション、プローブセパレートポジション(300μm)、ローディングポジション(3mm)を正確にコントロール可能です。
ウェハー破損を防止するセーフティロック付き。

prod-img-img14

Height adjustment scale

ポジショナーベース(プラテン)は25mmの高さ調整が可能であり、さまざまなアプリケーションに対応します。

prod-img-img15

Compact and rigid platen design

最大10個のDCポジショナーもしくは最大4個のRFポジショナーが搭載可能です。

prod-img-img16

Auxiliary chucks

RF測定には校正基板用のセラミックチャックを搭載可能です。

▼TS150-THZ

prod-img-img17

TS150-THZはアンプ、コンバーターを用いたミリ波やサブミリ波の測定に特化した製品です。
測定システムのセットアップを簡易化し、VNAの最高のパフォーマンスを引き出します。

特徴

prod-img-img18

Air-bearing stage

エアベアリング方式でステージを軽く、素早く、簡単に移動することができます。25×25mmXYとθ移動にマイクロメーターを使用しさらに細かく正確に動作可能です。

prod-img-img19

Unique platen lift

測定精度はプローブコンタクト精度に依存します。ポジショナーベース(プラテン)位置をサイドレバーで、プローブコンタクトポジション、プローブセパレートポジション(300μm)、ローディングポジション(3mm)を正確にコントロール可能です。
ウェハー破損を防止するセーフティロック付き。

prod-img-img20

Chuck Z adjustment

TS150-THZはステージZ軸を10mm動作可能であり、セットアップに非常に有益な構造となっております。

prod-img-img21

Multiple configurations of MicroPositioners

特大ポジショナーを東西に2ポートとしても、南北には専用ブリッジでさらに2つポジショナーを置き、計4ポート、さらにはDCも搭載可能で標準的な構成が構築可能です。

prod-img-img22

MP80-DX

MP80-DXはΔlを1μmレベルでの動作を可能とした、ミリ波、サブテラヘルツ帯の測定における有効な校正方法multiline TRLでの効率の向上を可能としました。校正ソフトウェアQAlibriaはmultiline TRLに対応しております。

Various_chuck_options1

Various chuck options

RFキャリブレーションチャックにはセラミックを使用しより正確な校正を可能にしました。

▼TS200-SE

prod-img-img24

TS200-ShieldEnvironment(TS200-SE)は、EMI対策、RFI対策、遮光に優れた設計がされています。-60~300℃の温度範囲で低ノイズ、低リーク測定が可能です。
最大8インチサイズウェハの測定が可能です。

特徴

prod-img-img25

ShielDEnvironment™

ShielDEnvironment™ はEMI対策、RFI対策、遮光に優れた高性能チャンバー構造であり、低ノイズ、低リークにより最高の測定環境を構築します。

prod-img-img26

ShielDCap™

ShielDEnviroment に完全対応しており、RFなら4ポート、DC,ケルビンなら8ポートまで搭載可能です。取り付け取り外しが容易にでき、作業効率の向上を図ります。

prod-img-img27

Unique platen lift

測定精度はプローブコンタクト精度に依存します。ポジショナーベース(プラテン)位置をサイドレバーで、プローブコンタクトポジション、プローブセパレートポジション(300μm)、ローディングポジション(3mm)を正確にコントロール可能です。
ウェハー破損を防止するセーフティロック付き。

prod-img-img28

Chuck Z loading stroke

TS200-SEはチャックステージZ軸の25mmストロークと、ステージY軸の長いストロークにより、容易にShieldEnvironmentへのロード/アンロードを可能とします。

▼IMPACT Test Solutions

ベクターセミコンは、2インチウェハ対応卓上型TS50・6インチウェハ対応標準型TS150に
最適なアクセサリー類で構成されたパッケージ商品をご提案します。
基本的な構成を安価で構築可能です。

ITS50-COAX

・マニュアルプローバー本体
・2インチウェハ対応室温チャック
・実体顕微鏡
・小型ポジショナー ×4
・同軸アーム・同軸ケーブル ×4
・タングステンプローブ

ITS50-TRIAX

・マニュアルプローバー本体
・2インチウェハ対応室温チャック
・実体顕微鏡
・小型ポジショナー ×4
・TRIAXアーム・ケーブル ×4
・タングステンプローブ

ITS50-RF26

・マニュアルプローバー本体
・2インチウェハ対応室温RFチャック
・実体顕微鏡
・ポジショナー・RFプローブアーム ×2
・Allstron RF プローブ 26GHz ×2
・26GHz プローブ用ケーブル ×2
・校正基板
*プローブ・ケーブルは40GHz,50GHz,67GHzへ変更可能です。

ITS150-COAX

・マニュアルプローバー本体
・6インチウェハ対応室温チャック
・実体顕微鏡
・小型ポジショナー ×4
・同軸アーム・同軸ケーブル ×4
・タングステンプローブ

ITS150-TRIAX

・マニュアルプローバー本体
・6インチウェハ対応室温チャック
・実体顕微鏡
・小型ポジショナー ×4
・TRIAXアーム・ケーブル ×4
・タングステンプローブ

ITS150-RF26

・マニュアルプローバー本体
・6インチウェハ対応室温RFチャック
・実体顕微鏡
・ポジショナー・RFプローブアーム ×2
・Allstron RF プローブ 26GHz ×2
・26GHz プローブ用ケーブル ×2
・校正基板
*プローブ・ケーブルは40GHz,50GHz,67GHzへ変更可能です。

▼RF Probes & Accessories

Allstron RF Probe

今日のRFアプリケーションにおける非常に多くの課題を深く理解し、Allstron RF Probeを開発しました。
これらは、ユーザーの高度なニーズに重点を置き、複雑なアプリケーション用に特別に最適化された製品です。

Allstron RF Probeは、RFテストの分野において、最新技術と製造の発展を提供いたします。

製品一覧

  • TS50
  • TS150 TS200
  • TS150-THZ
  • TS200-SE
  • IMPACT TestSolutions
  • RF Probers&Accessories

CONTENTS

Copyright © 2011 Vector Semiconductor Co.,Ltd. All rights reserved.

ベクターセミコン株式会社

〒116-0013 東京都荒川区西日暮里2丁目43番2号 TEL .03-5604-1701 FAX.03-5604-1707 E-Mail: info@vectorsemicon.co.jp