TS200-SE / TS300-SE - シールドチャンバーマニュアルプローバー ～12インチウェハ
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ShielDEnvironment™により、EMI対策、RFI対策、遮光に優れた設計がされています。-60～300℃の温度範囲で低ノイズ、低リーク測定が可能です。
TS200-SEは最大8インチウェハ対応。 TS300-SEは最大12インチウェハ対応。 |
Features & Benefits
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ShielDEnvironment™
ShielDEnvironment™ はEMI対策、RFI対策、遮光に優れた高性能チャンバー構造であり、低ノイズ、低リークにより最高の測定環境を構築します。 温調システムと組み合わせることで、-60℃までの低温環境下での測定が可能です。 |
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ShielDCap™
ShielDEnviroment に完全対応しており、RFなら4ポート、DC,ケルビンなら8ポートまで搭載可能です。取り付け取り外しが容易にでき、作業効率の向上を図ります。 |
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エアベアリングステージ
エアベアリング方式でステージを軽く、素早く、簡単に移動することができます。25×25mmXYとθ移動にマイクロメーターを使用しさらに細かく正確に動作可能です。 |
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プラテンリフト＆プローブホバー
測定精度はプローブコンタクト精度に依存します。ポジショナーベース（プラテン）位置をサイドレバーで、プローブコンタクトポジション、プローブセパレートポジション（300µm）、ローディングポジション（3mm）を正確にコントロール可能です。 追加されたProbe Hover Control™（50,100,150µmの高さ）により容易なプローブとパッドの位置合わせが可能になりました。 |
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チャック Z コントロール
TS200-SEはXYステージのエアベアリングに加えて、微細で正確なコンタクト・オーバートラベル制御またはプローブカードのコンタクト補正のためのµmレベルの分解能のチャック Z調整機能を搭載しています。 TS300-SEは、エアベアリングステージ設計とシンプルなワンハンドコントロールを組み合わせたユニークなステージコンセプトを持ち、高速XYナビゲーションと迅速なウェーハローディングを可能とします。 |
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様々なチャックオプション
サーマルチャックシステムは-60℃、-40℃、-10℃、室温から200℃または300℃と用途に応じて選択可能です。 coaxチャック、Triaxチャック、セラミック製校正基板ステージを搭載したRFチャックと様々なタイプのチャックを揃えております。 |
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セーフティーロック
ウェハーローディングドアは15℃以下の温度でロックされる、非常に安全性に優れたマニュアルプローブステーションです。 |
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ERSエアクールテクノロジー
冷却液を使用しないERS AC3エアクールシステムにより、低コストで高精度な冷却が可能です。 |
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様々な顕微鏡
高性能顕微鏡iMAG®、高倍率・長差動距離シングルチューブ顕微鏡SZ10とMZ12、非常に長い差動距離と接眼レンズ搭載が特徴のEZ10など、ご要望に応じた機器のご提案を致します。 |
