TS300-IFEおよびTS300-SEプローブシステム ～12インチウェハ
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TS300-IFEは、MPIの独自のIceFreeEnvironment™を利用したプローブシステムで、「open system」のTS300の便利な操作性と、 マイナス温度(-60°Cまで）での測定範囲をカバー可能です。この設計により、 信号経路が短縮され、 プローブシステムはミリ波および（または）ロ ー ドプル・アープションに最適な選択肢となります。
MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)は、優れたEMI · RFIシールドおよび遮光環境を実現するために設計されており、-60~ 300 ℃での超低ノイズ、低リーク測定環境を実現します。 また、TS300-HPはライトカーテンを付け安全を確保して、10 kV / 600 Aに対応したハイパワーデバイス 測定の専用機となります。MPIのIceFreeEnvironment™機構を選択することにより、長いプローブカード(15インチ)とマイクロポジショナ/アクティブ型インピーダンス・プローブを同時に使ってデザイン評価(プロダクト・エンジニアリング)用システムにもなります。 |
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Features & Benefits
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IceFreeEnvironment™
IceFreeEnvironment™を用いることにより、TS300-IFEは、-60°C ～ +300°Cの広い温度範囲に於いて、マイクロポジショナとプローブカードを同時に使用してデバイスの評価ができます。 また、TS300-IFEでは信号系の長さを短くできる設計になっていますので、ミリ波および(または)ロードプル測定には最適なプラットフォームです。 |
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ShielDEnvironment™
TS300-SEはShielDEnvironment™ 機構がついた、高性能環境チャンバ付きプローブシステムで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境が保証されます。 |
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ShielDCap™
ShielDEnviroment に完全対応しており、RFなら4ポート、DC,ケルビンなら8ポートまで搭載可能です。取り付け取り外しが容易にでき、作業効率の向上を図ります。 |
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エアベアリングステージ
エアベアリング方式でステージを軽く、素早く、簡単に移動することができます。25×25mmXYとθ移動にマイクロメーターを使用しさらに細かく正確に動作可能です。 |
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プラテンリフト＆プローブホバー
測定精度はプローブコンタクト精度に依存します。ポジショナーベース（プラテン）位置をサイドレバーで、プローブコンタクトポジション、プローブセパレートポジション（300µm）、ローディングポジション（3mm）を正確にコントロール可能です。 追加されたProbe Hover Control™（50,100,150µmの高さ）により容易なプローブとパッドの位置合わせが可能になりました。 |
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チャック Z コントロール
TS300-SEは、エアベアリングステージ設計とシンプルなワンハンドコントロールを組み合わせたユニークなステージコンセプトを持ち、高速XYナビゲーションと迅速なウェーハローディングを可能とします。 |
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様々なチャックオプション
サーマルチャックシステムは-60℃、-40℃、-10℃、室温から200℃または300℃と用途に応じて選択可能です。 coaxチャック、Triaxチャック、セラミック製校正基板ステージを搭載したRFチャックと様々なタイプのチャックを揃えております。 |
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セーフティーロック
ウェハーローディングドアは15℃以下の温度でロックされる、非常に安全性に優れたマニュアルプローブステーションです。 |
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ERSエアクールテクノロジー
冷却液を使用しないERS AC3エアクールシステムにより、低コストで高精度な冷却が可能です。 |
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様々な顕微鏡
高性能顕微鏡iMAG®、高倍率・長差動距離シングルチューブ顕微鏡SZ10とMZ12、非常に長い差動距離と接眼レンズ搭載が特徴のEZ10など、ご要望に応じた機器のご提案を致します。 |
