AX-2500 - 8インチセミオートプローバー
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従来のAX機をベースに常に進化し続ける高精度セミオートプローバーです。
シンプルな操作と優れた拡張性、自動測定など多い実績と高い信頼性を持った機種です。 |
Features & Benefits
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ローノイズチャンバー構造
低価格・高精度をコンセプトとしたセミオートプローバーです。低ノイズ低リークでの測定環境・位置決め精度により、最適な測定環境をご提供致します。 |
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プロービングソリューション
微小電流測定・容量測定、高速IV測定など、ユーザーニーズに合わせた様々なプロービングソリューションを提供致します。 解析用ソフトウェアによる自動測定環境を容易に構築が可能です。 |
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アクセサリー
プローブカードや光照射機構など、多様なアクセサリーを組み合わせ、ご要望の測定に柔軟に対応いたします。 |
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高低温温調システム
実績の高い冷却液循環チラーを用いた高低温温調システムで、-40℃から200℃の温調が可能です。 室温付近から300℃の高温温調システムなど用途に応じた温調システムをご提案いたします。 |
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防振機構内蔵
本体下部搭載台内部に防振機構が内蔵されております。 外部からの振動を吸収し、安定した測定が可能です。 |
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シンプルオペレーション
実装されているプローバーオペレーションソフトウェアとジョイスティックにより、シンプルな操作でプローバー操作が可能です。 アライメント、ウェハマップ、温度可変による位置補正など様々な機能を備えております。 |
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