TS150 , TS200 , TS300 - マニュアルプローバー ～12インチウェハ
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TS150,TS200,TS300はベクターセミコンのMXシリーズがさらなる進化を遂げ、様々な用途でお使いいただけるようになりました。直感的な操作、簡単で便利、高精度な測定を特徴としたマニュアルプロービングシステムです。
TS150はチップサイズから6インチウェハサイズまで対応。 TS200はチップサイズから8インチウェハサイズまで対応。 TS300はチップサイズから12インチウェハサイズまで対応。 室温から300℃までの温調システムを搭載可能です。 防振台、ダークボックス追加可能です。
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Features & Benefits
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エアベアリングステージ
エアベアリング方式でステージを軽く、素早く、簡単に移動することができます。25×25mmXYとθ移動にマイクロメーターを使用しさらに細かく正確に動作可能です。 |
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プラテンリフトレバー
測定精度はプローブコンタクト精度に依存します。ポジショナーベース（プラテン）位置をサイドレバーで、プローブコンタクトポジション、プローブセパレートポジション（300μm）、ローディングポジション（3mm）を正確にコントロール可能です。 ウェハー破損を防止するセーフティロックが付いております。 |
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プラテンハイトスケール
ポジショナーベース（プラテン）は20mmの高さ調整が可能であり、さまざまなアプリケーションに対応します。 |
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コンパクトで剛性の高いプラテン
最大10個のDCポジショナーもしくは最大4個のRFポジショナーが搭載可能です。 |
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様々なチャックオプション
coaxチャック、triaxチャック、最大300℃までの温調システムなど、様々な仕様に対応するオプションを取り揃えております。 |
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校正基板チャック
RF測定には校正基板用のセラミックチャックを搭載可能です。 |
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様々な顕微鏡と顕微鏡ステージ
スタンダードな実体顕微鏡やズーム鏡筒、金属顕微鏡など、用途に合わせて光学機器や顕微鏡ステージを幅広く選択が可能です。 |
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顕微鏡チルト機構
顕微鏡90度チルト機構を標準装備、または空気圧駆動のリニアZリフトにより、非常に簡単なプローブ先端の交換やセットアップが可能です。 |
