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TS150 , TS200 , TS300 - マニュアルプローバー ~12インチウェハ

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TS150,TS200,TS300はベクターセミコンのMXシリーズがさらなる進化を遂げ、様々な用途でお使いいただけるようになりました。直感的な操作、簡単で便利、高精度な測定を特徴としたマニュアルプロービングシステムです。
TS150はチップサイズから6インチウェハサイズまで対応。
TS200はチップサイズから8インチウェハサイズまで対応。
TS300はチップサイズから12インチウェハサイズまで対応。
室温から300℃までの温調システムを搭載可能です。
防振台、ダークボックス追加可能です。

TS150-fact-sheet_jp_.pdf
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TS200-fact-sheet_jp_.pdf
File Size: 965 kb
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TS300-fact-sheet_jp_.pdf
File Size: 914 kb
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Features & Benefits
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エアベアリングステージ

エアベアリング方式でステージを軽く、素早く、簡単に移動することができます。25×25mmXYとθ移動にマイクロメーターを使用しさらに細かく正確に動作可能です。
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プラテンリフトレバー

測定精度はプローブコンタクト精度に依存します。ポジショナーベース(プラテン)位置をサイドレバーで、プローブコンタクトポジション、プローブセパレートポジション(300μm)、ローディングポジション(3mm)を正確にコントロール可能です。
ウェハー破損を防止するセーフティロックが付いております。

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プラテンハイトスケール

ポジショナーベース(プラテン)は20mmの高さ調整が可能であり、さまざまなアプリケーションに対応します。
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コンパクトで剛性の高いプラテン

最大10個のDCポジショナーもしくは最大4個のRFポジショナーが搭載可能です。
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様々なチャックオプション

coaxチャック、triaxチャック、最大300℃までの温調システムなど、様々な仕様に対応するオプションを取り揃えております。
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校正基板チャック

RF測定には校正基板用のセラミックチャックを搭載可能です。
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様々な顕微鏡と顕微鏡ステージ

スタンダードな実体顕微鏡やズーム鏡筒、金属顕微鏡など、用途に合わせて光学機器や顕微鏡ステージを幅広く選択が可能です。
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顕微鏡チルト機構

顕微鏡90度チルト機構を標準装備、または空気圧駆動のリニアZリフトにより、非常に簡単なプローブ先端の交換やセットアップが可能です。
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他のプローブステーションを見る
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RFプローブを見る
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