TS3000 - 高性能セミオートプローバー ～12インチウェハ
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TS3000は最大12インチウェハサイズに対応した高性能・高機能セミオートプローバーです。
最大ー60～300℃の温度範囲での温調が可能であり、不良解析、ウェハ信頼性試験、RFやmmW測定など様々な測定に柔軟に対応します。 装置設置エリア内にチラーユニットを含め、非常に小さなフットプリントでの設置が可能です。 
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Features & Benefits
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IceFreeEnvironment™
IceFreeEnvironment™を採用したTS3000は広い開口を持ちながらも-60～300℃までの温調範囲での測定が可能です。 ポジショナーやプローブカードなど自由度の高いセッティングが可能です。 |
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ラージエリアプラテン
最大12個のDC、または4個のRFのポジショナーを設置可能。ロードプル測定用チューナーや大型プラテン設置など自由度も高く、RF測定やmmW測定において最適な環境です。 |
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デュアルフロントドア
大きく開くデュアルフロントドアにより、大きなウェハやチップも出し入れが容易に行えます。 校正基板用サブステージも正面に配置され、RFキャリブレーションやプローブカードのクリーニングなど容易に自動化が可能です。 |
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ハードウェアコントロールパネル
長年の経験とユーザーの要望に基づいて設計された高機能なハードウェアコントロールパネルにより、より迅速に、より安全で便利な操作とテスト操作を提供致します。 キーボード・マウスは必要に応じて使用できるよう収納・配置されております。 |
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サーマルコントロール
スマートチラーの統合により、TS3000シリーズは実験室の貴重なスペースを圧迫せず、最適な設置フットプリントを提供致します。 高性能サーマルチャックシステムにより広い温度レンジで、多彩な測定が可能です。 |
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ERSエアクールテクノロジー
冷却液を使用しないERS AC3エアクールシステムにより、低コストで高精度な冷却が可能です。 |
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プローブカード＆ポジショナー
シングルプローブ、4.5"×11"プローブカード、アクティブ/パッシブハイインピーダンスプローブを低温環境下で同時プロービングなど、非常に自由度の高いセッティングが可能であり、品質保証試験や不良解析など様々なアプリケーションに対応いたします。 |
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セーフティーテストマネジメント
独自のセーフティーテストマネジメントシステムにより、安全な測定をお約束いたします。温調システムを使用している場合は、任意の温度設定にてシステムドアのロックを制御し、温調中や測定中の誤操作によるドア開放を防ぎます。冷却時、エアフローが不足している場合は、チャックを自動的に安全モードにし、可能な限り露点以上に加熱します。 |
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インスツルメンツシェルフ
オプションの背面インスツルメンツシェルフにより測定器へのケーブル長を短縮し、RFやmmW測定において高精度な測定が可能です。 |
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SENTIO®
すべてのセミオートシステムには、ユニークで革新的なマルチタッチ操作が可能なオペレーションソフトウェアSENTIO®が導入されております。 シンプルで直感的な操作、近代的なスマートモバイルの様な移動コマンド、単純なタップとスイープ操作で誰もがすぐに操作可能です。 |
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