MPIチャックシステム

  • 同軸チャック
  • トライアキシャル・チャック
  • RFチャック
  • ミリ波チャック
  • ハイパワー・チャック
温度範囲は常温チャック及び-60°C～300°Cの温度範囲から選択可能です。



Features & Benefits
ERS社とのインテグレーション技術（IT）
異なる温度にてオンウェハーでプロービングするにはまだ多くの課題があります。MPIはERS社と協力しプローバーと温度チャックのソフトウェアおよびハードウェアの一元化をはかっております。 IT(Integrated Technology) により 以下をお約束します。

  • 高精度な測定結果
  • 優れたメンテナンス性
  • 優れた温度特性
　　　　　　業界最速の温度遷移時間
　　　　　　改良された平坦度
　　　　　　全温度範囲にわたって優れた熱分布
MPI＆ERSAirCool®プライムテクノロジー

MPIと ERS electronic GmbH で共同開発した 新しい300 mmサーマルチャックAirCool®PRIME T技術 により優れた柔軟性をもち従来の温度チャックに比べ温度が安定するまでの時間が従来の60%まで短くなり、他社と比べてより多くの温度範囲よりお選びいただけます。

低温は-60℃/-40℃/-10℃/20℃/30℃から、高温は200℃/300℃まで温度範囲の中からご予算とご要求にあったチャックを選定いただくことができます。PRIME™技術により-10℃までチラーなしで測定することが可能で、-40℃でも小型なチラーで冷却が可能です。システム全体の価格を抑えることができ、最終的にはテストコストの削減が可能となります。
温度コントローラ

操作性に優れた、タッチスクリーンパネル式温度コントローラは、MPIプローバーTSシリーズに最適です。
ERS社AC３冷却技術を採用

温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3 冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30～50％も削減することが可能となりました。
補助チャック

RFチャックには正確なRF校正に必須な２つのセラミック製補助チャックを搭載しております。
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