TS3500シリーズ - 高性能,高い柔軟性を持ち合わせたフルオートプローバー
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TS3500とTS3500-SEは、WaferWallet™で構成またはアップグレードすることにより、TS3000及びTS3000-SE 300mm プローブステーションと同等の機能を備えたうえ完全自動化機能を追加可能です。
WaferWalletは最大5枚の同一ウェハの全自動テストが可能です。 
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Features & Benefits
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WaferWallet™
WaferWallet™は、測定能力を損なうことなくTS3500シリーズのオートメーション機能を拡張します。 WaferWallet™は、150、200、または300mmのモデリングウェハを装填するための5つのトレイを備えています。 5枚までの同一ウェーハを用いた全自動テストが可能になりました。 |
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ウェハスワップ
ウェハローディング、アンローディングの為にチャック温度を変更する必要がありません。 WaferWallet™を使用することで貴重な時間を節約します。 |
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テストオートメーション
シンプルで費用対効果の高いノッチインジケータを使用したトレイ内のウェーハアライメントにより、初期ウェーハローディングが迅速かつ確実に行われます。オプションにはTS3500-SE上のウェーハ・プリアライナ、IDリーダ、PTPA（下方カメラ）、自動化レベルを高める追加機能があります。 |
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SENTIO®
すべてのセミオートシステムには、ユニークで革新的なマルチタッチ操作が可能なオペレーションソフトウェアSENTIO®が導入されております。 シンプルで直感的な操作、近代的なスマートモバイルの様な移動コマンド、単純なタップとスイープ操作で誰もがすぐに操作可能です。 |
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