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MX-7000 series - FPD用大型プローバー
大型ガラス基板の電気特性評価を想定した大型マニュアルプローバーです。
上面・裏面照射ユニットや、チャック温調機能など様々なオプションを取り揃えております。
Features & Benefits
MX-7200
■最大37インチサイズのガラス基板の電気特性測定が可能。
■ステージサイズ 400×300mm
室温から150℃までの温度コントロールが可能です。
■広範囲な顕微鏡可動域とポジショナー設置領域を持っております。
MX-7700
■最大470×370mmサイズのガラス基板の電気特性測定が可能。
■ステージサイズ 470×370mm
■室温から150℃までの温度コントロールが可能です。
■広範囲な顕微鏡可動域とポジショナー設置領域を持っております。
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