TS2000-HP – Advanced High Power Solution 8インチ パワーデバイス測定
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TS2000-HPは、300℃までの温度範囲で最大3kV/10kVや600A(パルス）のパワーデバイスオンウェハ測定を広い温度範囲で測定が可能な高性能セミオートプローバーです。
SheilDEnvironment™により低ノイズ、シールド環境にて高精度な測定が可能です。 
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Features & Benefits
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高い安全性
ライトカーテンなどのインターロックシステムを使用して機器をシャットダウンすることにより、偶発的な高電圧感電事故からユーザーを保護します。 背面には測定機器セッティングがしやすいように、インターロック付きリアドアを備えています。 |
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ShielDEnvironment™
ShielDEnvironment™は優れたEMI対策、RFI対策、遮光に優れた高性能チャンバー構造であり、超低ノイズ、低リークにより最高の測定環境を構築します。 |
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高耐圧、大電流プローブ
最大10kV（同軸）および3kV（3軸）までの高耐圧低ノイズプローブとアーム、200A（パルス）に対応した大電流プローブなど、パワーデバイス測定に必要なアクセサリを豊富にそろえております。様々なコネクタに対応いたします。ご相談ください。 |
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液浸トレイ
特別設計されたウェハ液浸トレイにより、パワーデバイスのパッド間の放電を抑え、安全で高精度なハイパワー測定が行えます。 |
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hot / cold ウェハスワップ
自動化されたシングルウェハローダーと安全管理のもと、チャック設定温度でのウェハロード/アンロードが可能です。ウェハのロード・アンロードの為に周囲温度まで変更する必要はありません。ダウンタイムの削減と効率の向上を図ります。 |
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SENTIO®
すべてのセミオートシステムには、ユニークで革新的なマルチタッチ操作が可能なオペレーションソフトウェアSENTIO®が導入されております。 シンプルで直感的な操作、近代的なスマートモバイルの様な移動コマンド、単純なタップとスイープ操作で誰もがすぐに操作可能です。 |
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