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チップや小口径ウェハから大型ウェハまで対応可能なマニュアルプローバーです。高剛性、高精度で操作性に優れた設計により、電気特性評価に最適な測定環境を提供致します。
画像
MANUAL
微小電流測定や
高周波測定、
不良解析など様々なアプリケーションに対応

2" 小型卓上タイプ         TS50
スタンダード                  TS150 / TS200 / TS300
ミリ波エクステンダ搭載    TS150-THZ
ミリ波、THZ、ロードプル   TS150-AIT / TS200-THZ
高低温・シールド環境     TS200-SE / TS300-SE

レーザー搭載         MX-5000 series
FPD                                                    MX-7000 series
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