MPI顕微鏡
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お客様のご要望に応じた様々な顕微鏡を取り揃えております。
最先端のウェハーのナビゲーション機能と視認性を実現しました。DC/CV、RF/ミリ波のアプリケーションなど測定のご用途に合わせた最適な一台をご選択いただけます。 
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Features & Benefits
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iMAG®デジタル顕微鏡
MPI iMAG® は高分解能デジタル顕微鏡で、すぐれた色分解能と早いフレームレートによりウェハー・ナビゲーションを非常に容易にします。 1.1インチ、6.55MP二次センサの搭載によりエッジ効果、影効果を抑え、光学的に最大可能な広いFOV(実視野)を実現しました。 iMAG® はプローバー・コントロール用ソフトウェアMPI SENTIO® と連動しており、自動化された機能(フォーカス、ウェハー・アライメント、インデックス認識機能、ウェハーマップ作成、ラテラル・ダイ補正、Z方向のオンザフライ補正)に加え、自動露出ポイント・アンド・シュート機能、フリック、パン撮り、デジタルズームなどさまざまなタッチ機能がご使用いただけます。 |
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単眼鏡筒顕微鏡
MPIのSuperZoom™ SZ10、MegaZoom™ MZ12 単眼鏡筒 顕微鏡をご使用いただくことにより高倍率でかつ、長い作動距離が実現します。設置スペースが小さいことにより、RF、ミリ波、ロードプルといったアプリケーションの際に、計測器のテストヘッド、チューナーなどを搭載する必要がある場合、大きなメリットとなります。 自動化されたMegaZoom™ AMZ12単眼鏡筒顕微鏡はMPIのオートプローバー、フルオートプローバーには最適な一台で、SENTIO®プローバー用コントローラーソフトウェアと連動し、ズーム機能も自動化が可能です。 |
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三眼鏡筒顕微鏡
MPI独自のEyeZoom™ EZ10顕微鏡は人間工学に基づき設計された三眼 実体顕微鏡となり、10倍の光学ズームにより2μmレベルまでの高分解能な上、90mmの作動距離があるため、ストレスなくRFプローブやケーブルの交換を行うことができます。オプションのリングライト照明の追加により、材質の違う評価物や校正基板、ウェハーパッドの視認性がさらに向上し、RF、ミリ波、ロードプル測定において最適な一台となります |
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金属顕微鏡
故障解析、インターナル・ノードのプロービングに必要とされる高倍率顕微鏡にも対応しております。Motic製 PSM-1000、ミツトヨ製 FS70などの顕微鏡も搭載可能です。 |
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