TS150-THZ - エクステンダー搭載マニュアルプローバー ～6インチウェハ
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TS150-THZはアンプ、コンバーターを用いたミリ波やサブミリ波の測定に特化した製品です。
測定システムのセットアップを簡易化し、VNAの最高のパフォーマンスを引き出します。
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Features & Benefits
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エアベアリングステージ
エアベアリング方式でステージを軽く、素早く、簡単に移動することができます。25×25mmXYとθ移動にマイクロメーターを使用しさらに細かく正確に動作可能です。 |
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プラテンリフト＆プローブホバー
測定精度はプローブコンタクト精度に依存します。ポジショナーベース（プラテン）位置をサイドレバーで、プローブコンタクトポジション、プローブセパレートポジション（300µm）、ローディングポジション（3mm）を正確にコントロール可能です。 追加されたProbe Hover Control™（50,100,150µmの高さ）により容易なプローブとパッドの位置合わせが可能になりました。 |
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チャック Z アジャストメント
Rohde＆Schwarz、VDIまたはOMLのような異なる周波数エクステンダの統合に柔軟に対応できるように設計された、10mmの微細チャックZ調整機能を備えています。 同じプローブシステム上での複数のセットアップに非常に有効です。 |
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ポジショナーマルチセッティング
ミリ波測定高剛性大型ポジショナーを東西に2ポート設置し、南北専用ブリッジに2ポートの計4ポート以外にさらにはDCも搭載可能で、様々な構成での測定環境を構築可能です。 |
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MP80-DX
MP80-DXはΔlを1μmレベルでの動作を可能とした、ミリ波、サブテラヘルツ帯の測定における有効な校正方法multiline TRLでの効率の向上を可能としました。校正ソフトウェアQAlibriaはmultiline TRLに対応しております。 |
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様々なチャックオプション
より正確な校正を行うためのセラミック製の校正基板用のサブステージを標準仕様とし、メインステージはBNCコネクタ搭載のスタンダードなRFチャックや、特殊なセラミックチャック、高温温調可能なサーマルチャックシステムも取り揃えております。 |
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様々な光学系
長い差動距離と高い解像度を持ったシングルチューブスコープを搭載し、RFやmmWアプリケーションにおいて非常に理想的な測定環境を構築いたします。 |
