TS2000-SE - 高性能セミオートプローバー シールドシステム ～8インチウェハ
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TS2000-SEは高性能、超低ノイズ、高精度でありながらテストコスト削減のもとに設計された高いパフォーマンスを持つセミオートプローバーです。
微小電流測定、高い信頼性のDC/IV測定、1/f測定、RF測定,パワーデバイス測定などすべてにおいて最高のパフォーマンスを発揮します。 ShielDEnvironment™により、優れたシールド環境下で最大60℃から300℃での温調試験が可能です。 チップサイズから最大8インチウェハまで対応しております。 
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Features & Benefits
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ShielDEnvironment™
ShielDEnvironment™は優れたEMI対策、RFI対策、遮光に優れた高性能チャンバー構造であり、超低ノイズ、低リークにより最高の測定環境を構築します。 |
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ShielDCap™
ShielDEnviroment に完全対応しており、RFなら4ポート、DC,ケルビンなら8ポートまで搭載可能です。取り付け取り外しが容易にでき、作業効率の向上を図ります。 |
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シングルウェハローダー
100mm,150mm,200mmのウェハを自動でロード、アンロードを行う簡易ローダーが搭載されております。 ウェハのローディングを簡単、正確に行います。 |
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セーフティーテストマネジメント
独自のセーフティーテストマネジメントシステムにより、安全な測定をお約束いたします。温調システムを使用している場合は、任意の温度設定にてシステムドアのロックを制御し、温調中や測定中の誤操作によるドア開放を防ぎます。冷却時、エアフローが不足している場合は、チャックを自動的に安全モードにし、可能な限り露点以上に加熱します。 |
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hot / cold ウェハスワップ
自動化されたシングルウェハローダーと安全管理のもと、チャック設定温度でのウェハロード/アンロードが可能です。ウェハのロード・アンロードの為に周囲温度まで変更する必要はありません。ダウンタイムの削減と効率の向上を図ります。 |
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ERSエアクールテクノロジー
冷却液を使用しないERS AC3エアクールシステムにより、低コストで高精度な冷却が可能です。 |
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サーマルチャック・防振システム
サーマルチャックは、完全に統合されたタッチスクリーンを使用して操作することができ、操作性に優れております。 本体には高性能防振システムが組み込まれており、どのような環境のラボでも安心してご使用いただけます。 |
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ハードウェアコントロールパネル
長年の経験とユーザーの要望に基づいて設計された高機能なハードウェアコントロールパネルにより、より迅速に、より安全で便利な操作とテスト操作を提供致します。 キーボード・マウスは必要に応じて使用できるよう収納・配置されております。 |
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インスツルメンツシェルフ
オプションの背面インスツルメンツシェルフにより測定器へのケーブル長を短縮し、測定精度を高めます。 |
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SENTIO®
すべてのセミオートシステムには、ユニークで革新的なマルチタッチ操作が可能なオペレーションソフトウェアSENTIO®が導入されております。 シンプルで直感的な操作、近代的なスマートモバイルの様な移動コマンド、単純なタップとスイープ操作で誰もがすぐに操作可能です。 |
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