TS2000 - スタンダードマニュアルプローバー ～8インチウェハ
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不良解析、ウェハ信頼性試験、RFやmmW測定など様々な測定に対応する最大8インチウェハ対応セミオートプローバーです。
室温近傍もしくは高温での温調試験に対応しております。 ディスクリートRFデバイスの電気的試験などに最適です。 
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Features & Benefits
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大型プローブプラテン
TS2000はDC最大12端子、RF最大4端子に対応するために、非常に大きく、アクセスのしやすさを考慮したプローブプラテンを搭載しております。 ロードプルチューナーや大型ポジショナーなど搭載が可能で、RF及びmmW測定に最適です。 |
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イージーウェハローディング
大きなフロントドアアクセスにより4インチ、6インチ、8インチのウェハやチップなどのロード/アンロードが容易です。 正面に配置されたAUXチャックは、校正基板等の出し入れが非常に容易であり、段差がなくRFキャリブレーションやプローブカードクリーニングの自動化が可能です。 |
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コントロールパネル
プローブシステムに完全に統合されたコントロールパネルにより、より速く、より安全で便利なシステム制御と測定を提供するために、経験と実績に基づいて設計されています。 本体内部に収納されたキーボードとマウスは、必要に応じてお使い頂けます。 ウェハ及びAUXチャック用真空スイッチは装置前面に配置され、操作性に優れております。 |
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サーマルチャックシステム
サーマルチャック（室温～最大300℃）は本体に統合されたタッチスクリーンディスプレイにより迅速な操作と正確なオペレーションが可能です。 |
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プローブカードとポジショナー
標準的な4.5”プローブカード設置や複数台のポジショナー設置さらには、プローブカード使用時にアクティブプローブによる同時作業プロービングに最適であり、デバイス設計確認や不良解析などに非常に適しております。 |
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ダークボックス
TS2000-Dはダークボックス搭載タイプです。インターロック、LED照明、コネクタパネルが搭載され、光やレーザーを使用する測定環境に非常に有効なシステムです。 背面パネルからアクセスできるため、迅速なセッティングが可能です。 |
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インスツルメンツシェルフ
装置背面に設置したインスツルメンツシェルフオプションにより、RFやmmW測定において測定器を直近に設置し、極力ケーブルを短くした測定のセッティングが可能です。 |
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SENTIO®
すべてのセミオートシステムには、ユニークで革新的なマルチタッチ操作が可能なオペレーションソフトウェアSENTIO®が導入されております。 シンプルで直感的な操作、近代的なスマートモバイルの様な移動コマンド、単純なタップとスイープ操作で誰もがすぐに操作可能です。 |
