TS2000-DP - ダークボックスハイパワーソリューション
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TS2000をベースにしたTS2000-DPを使用することで、室温付近から300℃までの温度範囲で最大3kV/10kVや600A(パルス）のパワーデバイスオンウェハ測定が可能です。
非常にコストパフォーマンスに優れたパワーデバイス測定用プローバーです。 |
Features & Benefits
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プローブカードとポジショナー
最大3kV/10kVや600A(パルス）のオンウェハ測定が可能です。シングルプローブ、アンチアーキングハイパワープローブカードと専用プローブカードホルダーなど、測定に合わせた最適なソリューションをご提案いたします。 |
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アンチアーキングテクノロジー
ArcShield™により、チャックとプローブプラテンの間のアーク放電を防止します。 液浸トレイを用いた安全なHigh Power Testや、DUTの周りを高圧にすることによりパッド間のアーク放電を防ぐアンチアーキングプローブカード等、ご要望に合わせた最適なソリューションをご提案します。 |
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測定器との統合
KeysightやKEITHLEY等各社ハイパワーテストシステムへの最適な接続のために必要な最適な高電圧/高電流アクセサリをご提案いたします。モジュールセレクターや各機器の最適な配置、接続が可能です。 |
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SENTIO®
すべてのセミオートシステムには、ユニークで革新的なマルチタッチ操作が可能なオペレーションソフトウェアSENTIO®が導入されております。 シンプルで直感的な操作、近代的なスマートモバイルの様な移動コマンド、単純なタップとスイープ操作で誰もがすぐに操作可能です。 |
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