TS150-HP & TS200-HP - パワーデバイス測定マニュアルプローバー
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パワーデバイスのオンウェハ測定に特化したマニュアルプローバー
TS150-HPは最大6インチウェハ対応 TS200-HPは最大8インチウェハ対応 広い温度範囲にて低接触抵抗での測定を実現いたします。 
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Features & Benefits
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エアベアリングステージ
エアベアリング方式でステージを軽く、素早く、簡単に移動することができます。25×25mmXYとθ移動にマイクロメーターを使用しさらに細かく正確に動作可能です。 |
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チャックオプション
10kV Coaxial チャック、3kV室温チャック及び温調対応など様々な測定用途に応じでご提案いたします。 |
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HV/HC プローブ
高電圧・大電流測定用のプローブなど、お持ちの測定器や測定用途に合わせて最適な構成でご提案いたします。 |
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安全、正確な測定
感電防止インターロックやEMIシールド機能をもつダークボックス搭載で、低ノイズ、高精度、安全な測定が可能です。 測定器と連動した扉開閉インターロックは万が一ダークボックスを開けてしまった場合、事故防止のために即座に測定を中止します。 |
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測定器の統合
高電圧、大電流測定用の各社測定器と最適な接続が可能なサイドコネクタパネル搭載。 測定器、構成機器に合わせてご提案いたします。 |
