MX-5000 series - レーザーカッターシステム搭載マニュアルプローバー
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10インチサイズのガラス基板に対応したマニュアルプローバーです。レーザーシステム搭載により、リペア、保護膜剥離、不良解析等、多彩な用途でお使い頂けます。
上面・裏面照射ユニットや、チャック温調機能など様々なオプションを取り揃えております。 ご希望の基板サイズや仕様ご相談ください。 |
Features & Benefits
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レーザーカッターシステム
HOYA CANDEO OPTRONICSE製 レーザーマイクロカッターシステム レーザー波長 1064nm / 532nm / 355nm / 266nm 用途に応じてご提案いたします。 |
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全面安定したプロービング
大型パネルの全面エリアコンタクト及びレーザー加工をより安定し正確に行うために、高剛性プラテンステージ、顕微鏡XY動作機構、全面コンタクトプローブアームなど様々な機能と特徴を持っております。 |
