SiPH Probe Systems - シリコンフォトニクスデバイス特性評価セミオートプローバー
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シリコンフォトニクスデバイスの特性評価用に設計された最大300mmウェハ対応セミオートプローブシステムです。
・シングル、デュアルポジショナーセットアップで様々なオプションを含んだ高性能ファイバアライメントシステム ・ファイバー、ウェハ間の接近検知による衝突防止 ・推奨温度範囲：-40〜100°C、システムは-60°C〜300°Cのフルレンジをサポートします。 ・最小限に抑えたシステム設置面積 
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Features & Benefits
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Silicon Photonics Fiber Alignment Systems
非常に短いプラテンとチャックの距離により、より短いファイバアームをより高い安定性と少ない測定ノイズで使用できます。 光ファイバI/Oの数マイクロメートルの一定距離を保持するZ-sensing unitはシングルファイバー及びマルチファイバーアレイすべてのソリューションで利用可能です。 |
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Probe Hover Control™
プローブホバーコントロールPHC™は、プローブコンタクトとせパレートを手動で簡単に制御できます。正確な制御により、プローブのコンタクト確認やパッド位置確認等マニュアル的な用途としても利便性が向上しております。 |
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イージーウェハローディング
大きく開くデュアルフロントドアにより、大きなウェハやチップも出し入れが容易に行えます。 校正基板用サブステージも正面に配置され、RFキャリブレーションやプローブカードのクリーニングなど容易に自動化が可能です。 |
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ハードウェアコントロールパネル
長年の経験とユーザーの要望に基づいて設計された高機能なハードウェアコントロールパネルにより、より迅速に、より安全で便利な操作とテスト操作を提供致します。 キーボード・マウスは必要に応じて使用できるよう収納・配置されております。 |
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サーマルコントロール
スマートチラーの統合により、TS3000シリーズは実験室の貴重なスペースを圧迫せず、最適な設置フットプリントを提供致します。 高性能サーマルチャックシステムにより広い温度レンジで、多彩な測定が可能です。 |
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ERSエアクールテクノロジー
冷却液を使用しないERS AC3エアクールシステムにより、低コストで高精度な冷却が可能です。 |
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測定機器の統合
シリコンフォトニクス機器シェルフにはシームレスに統合されたポジションコントロールハードウェアに必要なすべてのコンポーネントを操作性の高い位置に配置されています。 |
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SENTIO®
すべてのセミオートシステムには、ユニークで革新的なマルチタッチ操作が可能なオペレーションソフトウェアSENTIO®が導入されております。 シンプルで直感的な操作、近代的なスマートモバイルの様な移動コマンド、単純なタップとスイープ操作で誰もがすぐに操作可能です。 |
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